کنتورهای جریان جرمی گاز مینی ESMF005 برای اکسیژن، نیتروژن، کربن

فلومتر جرمی حرارتی مینیاتوری گاز ESMF005 بر اساس قانون انتشار حرارتی و قانون کینگ ساخته شده است. این دستگاه از فناوری میکروالکترومکانیکی MEMS برای ادغام یک تراشه حساس، با هسته متشکل از یک المنت گرمایشی میکرو و پروب‌های دمایی با چیدمان متقارن استفاده می‌کند و امکان اندازه‌گیری مستقیم جریان جرمی گاز را بدون جبران دما و فشار فراهم می‌کند. هنگام کار، این دستگاه در حالت اختلاف دمای ثابت یا حالت توان ثابت کار می‌کند و از اثر اتلاف گرما هنگام عبور گاز از روی المنت گرمایشی استفاده می‌کند. میزان اتلاف گرما به یک سیگنال الکتریکی تبدیل می‌شود که پس از تنظیم سیگنال، داده‌های استاندارد را با سرعت پاسخ در حد میلی‌ثانیه تولید می‌کند. این فلومتر جمع و جور، کم مصرف، با ساختار فشرده و اتلاف فشار کم است که دارای دقت بالا، پایداری بالا و قابلیت ضد تداخل قوی است. این دستگاه می‌تواند نرخ جریان بسیار کم را با وضوح تا 0.01 متر بر ثانیه اندازه‌گیری کند. این محصول دارای طراحی کاملاً آب‌بندی شده است و با محیط‌های پیچیده مختلف سازگار است. این دستگاه به طور گسترده در تولید نیمه‌هادی‌ها، تجهیزات تنفسی پزشکی، نظارت بر محیط زیست، کنترل فرآیندهای صنعتی و تحقیقات علمی مورد استفاده قرار می‌گیرد و با دقت جریان گازهای فرآیندی، گازهای پزشکی، گازهای خروجی و سایر گازهای پاک را رصد می‌کند و پشتیبانی داده‌های قابل اعتمادی را برای عملکرد تجهیزات و بهینه‌سازی فرآیند فراهم می‌کند.

تماس با ما

جزئیات محصول

اصل کار

حسگر MEMS از دو مقاومت پلاتینی پچ تشکیل شده است، یکی دمای گاز درون لوله را اندازه‌گیری می‌کند و دیگری توسط جریان الکتریکی گرم می‌شود و اختلاف دما بین دو مقاومت حرارتی را ثابت نگه می‌دارد. با عبور گاز از مقاومت حرارتی، یک اثر خنک‌کنندگی ایجاد می‌شود. با افزایش سرعت جریان، اثر خنک‌کنندگی افزایش می‌یابد و توان حسگر مورد نیاز برای ثابت نگه داشتن اختلاف دما بین دو مقاومت حرارتی افزایش می‌یابد. توان اضافه شده به مقاومت گرمایشی متناسب با سرعت جریان جرمی است.

ویژگی‌های محصول

۱. فناوری پیشرفته هسته‌ای: از فرآیند ادغام میکروالکترومکانیکی MEMS استفاده می‌کند و المنت حرارتی و پروب دما را در یک میکروچیپ ادغام می‌کند. این دستگاه بر اساس قوانین انتشار حرارتی و قانون کینگ عمل می‌کند، بدون نیاز به ماژول‌های جبران دما و فشار اضافی، که امکان اندازه‌گیری مستقیم و دقیق جریان جرمی گاز را فراهم می‌کند و از خطاهای اندازه‌گیری غیرمستقیم جلوگیری می‌کند.

۲. جمع و جور و کم مصرف: ساختار کلی جمع و جور است، با حجمی بسیار کمتر از کنتورهای جریان سنتی، مناسب برای فضاهای نصب تنگ؛ مصرف برق بسیار کم، به طور گسترده برای دستگاه‌های قابل حمل و سناریوهای باتری قابل استفاده است و عملکرد طولانی مدت با راندمان انرژی بالا را فراهم می‌کند.

۳. عملکرد عالی اندازه‌گیری: دقت بالا و وضوح قوی، قادر به ثبت دقیق تغییرات کوچک جریان (وضوح تا ۰.۰۱ متر بر ثانیه)؛ سرعت پاسخ سریع (در حد میلی‌ثانیه)، قادر به ردیابی نوسانات جریان در زمان واقعی، با حداقل تأخیر و پایداری فوق‌العاده.

۴. راحت و بادوام: حداقل افت فشار، بدون تأثیر بر راندمان تحویل گاز؛ طراحی کاملاً آب‌بندی شده، مقاوم در برابر گرد و غبار و رطوبت، سازگار با محیط‌های مختلف صنعتی و آزمایشگاهی پیچیده؛ نصب آسان، بدون نیاز به اشکال‌زدایی پیچیده و هزینه‌های نگهداری پایین.

۵. سازگاری گسترده: می‌تواند گازهای پاک مختلف را اندازه‌گیری کند، با گازهای فرآیندی، گازهای پزشکی، گازهای خروجی و غیره سازگار است، برای نیازهای نظارت بر جریان در نیمه‌هادی‌ها، پزشکی، حفاظت از محیط زیست، کنترل صنعتی، تحقیقات و سایر زمینه‌ها مناسب است و تطبیق‌پذیری بالایی را ارائه می‌دهد.