فلومتر جرمی گاز حرارتی دیجیتال مینیاتوری با رنج وسیع برای سنسورهای MEMS
اصل کار
حسگر MEMS از دو مقاومت پلاتینی پچ تشکیل شده است، یکی دمای گاز درون لوله را اندازه‌گیری می‌کند و دیگری توسط جریان الکتریکی گرم می‌شود و اختلاف دما بین دو مقاومت حرارتی را ثابت نگه می‌دارد. با عبور گاز از مقاومت حرارتی، یک اثر خنک‌کنندگی ایجاد می‌شود. با افزایش سرعت جریان، اثر خنک‌کنندگی افزایش می‌یابد و توان حسگر مورد نیاز برای ثابت نگه داشتن اختلاف دما بین دو مقاومت حرارتی افزایش می‌یابد. توان اضافه شده به مقاومت گرمایشی متناسب با سرعت جریان جرمی است.
ویژگی‌های محصول
حسگر 1.MEMS، پاسخ سریع؛
2. نقطه صفر پایدار، دقت بالا و تکرارپذیری خوب؛
نسبت دامنه وسیع، محدوده جریان قابل انتخاب؛
4. جریان رو به جلو و جریان معکوس قابل نمایش است.
5. خروجی‌های سیگنال چندگانه موجود است.
6. رابط مکانیکی استاندارد اختیاری؛
جزئیات محصول
مشخصات محصول
| دقت اندازه‌گیری | سرعت جریان کمتر از 100NL/min است | مثبت یا منفی (۱.۰ +۰.۴ FS) % | |
| نرخ جریان بیشتر از ۱۰۰ نیوتن بر دقیقه | مثبت یا منفی (۱.۵ +۰.۲ FS) % | ||
| منبع تغذیه کار | جریان مستقیم ۲۴ ولت/۱۰۰ میلی‌آمپر | زمان پیش گرمایش | ۳ تا ۴ دقیقه |
| زمان پاسخ | ۵۰ میلی‌ثانیه | حالت خروجی | 4-20 میلی‌آمپر\RS485 |
| رانش صفر | ±20 میلی ولت | قالب نمایش | جریان لحظه‌ای، جریان تجمعی |
| دمای کار | -10 ~ 55℃ | رطوبت عملیاتی |
|
| دمای نگهداری | -10 ~ 65℃ | نحوه ارتباط | RS485 (پروتکل Modbus RTU) |
| فشار کاری | ≤1.0 مگاپاسکال | محیط کالیبراسیون | هوا (۲۵ درجه سانتیگراد، ۱۰۱.۳۲۵ کیلوپاسکال) |
| کنتور جرمی حرارتی | ||||||
| مدل | قطر لوله | محدوده جریان | متوسط | فشار | خروجی | رابط |
| ESMF004-08-100L | دی‌ان۸ | ۱-۱۰۰ نیوتن‌لیتر در دقیقه | گاز | ≤1.0MPA | 4-20 میلی‌آمپر/RS485 | جی۱/۴ |
| ESMF004-10-1000 میلی لیتر | دی‌ان۸ | 10-1000 نیوتن متر در دقیقه | جی۱/۴ | |||
| ESMF004-15-100L | دی ان ۱۵ | 1-100NL / دقیقه | BSPT1/2 | |||
| ESMF004-20-500L | دی ان ۱۵ | 5-500NL / دقیقه | BSPT1/2 | |||
| ESMF004-25-1000L | دی ان ۲۰ | 10-1000NL / دقیقه | BSPT3/4 | |||